電界放射型走査電子顕微鏡（でんかいほうしゃがたそうさでんしけんびきょう） |
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| 電界放射型走査電子顕微鏡とは電子顕微鏡の一種です。 電界放出形電子銃より生じた電子線を試料に走査させ、試料から発生した二次電子、反射電子、透過電子の像を観察することができ、かつ試料から放出された特性X線を検出することにより元素組成を測定することが可能です。弊社の被削性評価試験サービスにおいても、加工モニタリングの一環で走査電子顕微鏡を用いて加工変質層の観察等を行っております。 切削加工後の表面状態も最適な加工条件を導出する為には非常に重要な要素となっています。 加工変質層の観察等で御興味がございましたら是非お問い合わせ下さい。 |
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